自动测绘薄层电阻测量系统 RS-300

RS 系列是一种独特的接触式/非接触式薄层电阻和电阻率测量计量装置，可以轻松创建多点映射测量配方并自动测量薄层电阻和电阻率。 
RS-300是一种简单且经济的 RS 测量工具，它使用经过验证的高精度 4 点探针进行接触式 RS 测试，并可以通过测量和评估薄膜的厚度和电特性来进行全面的过程管理。

它还提供各种标准化模式，用于在基于 Windows 的 GUI 程序的晶圆图像上映射配方和无限多点选择，并通过全自动在线 EFEM 系统在 120 秒内执行从材料装载到卸载的高速测量。

先进的基于 Windows 的测量程序最大限度地提高了用户的便利性，可以将测量结果的 SPC 结果报告保存为 CSV 和 Txt 文件，并通过 2D/3D 图形显示为直观的测量结果查看最大限度地提高用户的便利性。

RS-300系列在硅、EPI、金属、离子注入、扩散过程等工业领域已经被证明是卓越和安全的设备。